Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники : математические модели и программные средства : учебное пособие / А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, С. И. Трегубов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Сибирский федеральный университет. - Красноярск : СФУ, 2020. - 66 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 61-65. - 100 экз.. - ISBN 978-5-7638-4263-0 (в обл.) : 4.00 р. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ   47.33.31  47.14  
ББК 32.844.1-022я73 + 32.844.2-022я73
Рубрики:
   Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Приборно-технологическое моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений
   Наноэлектроника -- Приборно-технологическое моделирование -- Учебные издания для высших учебных заведений

Кл.слова (ненормированные):
,МОДЕЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ -- СИСТЕМЫ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ -- SYNOPSYS SENTAURUS TCAD -- SILVACOTCAD -- DEVSIM -- MICROTEC -- МОДУЛЬ SEMICONDUCTOR СИСТЕМЫ COMSOL MULTIPHYSICS -- МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Доп.точки доступа: Маринушкин, Павел Сергеевич; Трегубов, Сергей Иванович (1951 - ); Издание без краеведческого материала местное.
Экз-ры: КХ - 0730335;
КХ - 0730336