Компоненты микросистемной техники : основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем : учебное пособие / П. С. Маринушкин, А. А. Левицкий ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Сибирский федеральный университет, [Институт инженерной физики и радиоэлектроники]. - Красноярск : СФУ, 2022. - 131 с. : ил. ; 21 см. - Вариант загл. : Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем. - Библиогр.: с. 117-118. - 100 экз.. - ISBN 978-5-7638-4575-4 (в обл.) : 9.00 р. - Текст : непосредственный. 47.33.37 ББК 32.853в615.2с515я73 Рубрики: Полупроводниковые приборы -- Моделирование -- Применение программного комплекса ANSYS -- Учебные издания для высших учебных заведений